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HORIBA STEC SEC-N100系列产品应用
  • 发布日期:2020-05-07      浏览次数:301
    • 适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式(数字式/模拟式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),快速响应。同时这款MFC支持多气体/多量程功能,减少客户成本。

      *1包括SEC-N177R

      n目前的SEC-Z500X 系列产品主要使用于半导体制程, SEC-N100 作为它的重要补充,主要针对非芯片半导体制程而开发。

       

      n同半导体制程一样,非芯片半导体工艺也已经形成相对统一的制造标准, SEC-N100 系列产品能够满足广大客户对不同制程规范的要求。

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