产品时间：2020-07-24
日本HORIBA STEC SEC-Z512KX高精度气体质量流量控制器$nHORIBA STEC提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围，客户可选择适合的阀门类型。HORIBA STEC SEC-Z512KX质量流量控制器
HORIBA STEC SEC-Z512KX质量流量控制器
HORIBA STEC提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围，客户可选择适合的阀门类型。我们可提供三种阀门，客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。同样我们也可提供多种不同的通讯方式，包括模拟式、数字式、DeviceNet™，以及PROFIBUS™，RS485，cc-link，(取决于产品型号)。
HORIBA STEC使用户自己在现场改变气体种类或满量程流量成为可能。我们的Z500设置软件让随需改规格成为可能。而且更为便利的是，这些更改可以在不拆卸MFC的条件下完成。这减少了用户需要储备的备用MFC的数量，同时也能节省时间和成本。
| 气体种类 MR/MG 号码 | N2 | Ar | H2 | SF6 | HBr | WF6 |
| SEC-Z51nX系列 | ||||||
| R01 | 3 – 10 | 4 – 11 | — | 1 – 3 | — | — |
| R1.5 |
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| — | — |
| 1 | 8 – 30 | 11 – 35 | 8 – 30 | 3 – 11 | 5 – 9 | — |
| 1.5 |
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| 9 – 17 | — |
| 2 | 25 – 100 | 35 – 110 | 25 – 100 | 9 – 36 | 15 – 28 | 5 – 6 |
| 2.5 |
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| 25 – 50 | 6 – 11 |
| 3 | 75 – 300 | 110 – 350 | 75 – 300 | 28 – 100 | 44 – 86 | 11 – 20 |
| 3.5 |
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| 79 – 150 | 19 – 37 |
| 4 | 250 – 1000 | 350 – 1100 | 250 – 1000 | 90 – 350 | 150 – 280 | 34 – 67 |
| 4.5 |
|
|
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| 280 – 540 | 60 – 110 |
| 5 | 750 – 3000 | 1100 – 3500 | 750 – 3000 | 260 – 1000 | 470 – 930 | 110 – 200 |
| 5.5 |
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| 860 – 1700 | 190 – 370 |
| 6 | 2500 – 10000 | 3500 – 11000 | 2500 – 10000 | 780 – 3100 | 1600 – 3100 | 360 – 700 |
| SEC-Z52nX系列 | ||||||
| 6.5 |
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| — | — |
| 7 | 10000 – 30000 | 10000 – 30000 | 10000 – 30000 | — | — | — |
| 8 | 30000 – 50000 | 30000 – 50000 | 30000 – 50000 | — | — | —
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| 质量流量控制器型号 | *1 | SEC-Z512KX | SEC-Z512MGX | SEC-Z522MGXN | SEC-Z522MGX | ||
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| SEC-Z512X | SEC-Z522XN | SEC-Z522X | ||
| 质量流量计型号 | *1 | SEF-Z512KX | SEF-Z512MGX | SEF-Z522MGXN | SEF-Z522MGX | ||
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| SEF-Z512X | SEF-Z522XN | SEF-Z522X | ||
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全量程流量 （氮气转换流量） |
1/2SCCM | MR/MG 编号#R1.5: 17.5 SCCM #1.5: 55SCCM #2.5: 175 SCCM #3.5: 550 SCCM #4.5: 1.75SLM #5.5: 5.5SLM | #R01: 10SCCM #01: 30SCCM #02: 100 SCCM #03: 300 SCCM #04: 1 SLM #05: 3 SLM #06: 10 SLM |
MR/MG 编号#6.5: 22 SLM #07: 30 SLM #08: 50 SLM | |||
| 阀类型 | O: 全开 C: 全闭 | ||||||
| 阀全闭时流量 | ≤ 2%F.S | ||||||
| 流量控制范围 | 2~100% F.S | ||||||
| 流量监测范围（SEF） | 0~100% F.S | ||||||
| 精度 | *2 | ±1.0% F.S | ±1.0% S.P. (设定流量>25%F.S.) ±0.25% F.S. (设定流量≤25%F.S.) | ||||
| 工作温度 | 5 ~ 50°C (推荐温度范围: 15 ~ 45°C) | ||||||
| 响应时间 | ≤ 1 秒: 流量控制范围 | ||||||
| 线性 | ≤±0.5%F.S | ||||||
| 重复性 | ≤±0.2%F.S | ||||||
| 工作压差 | 50 ~ 300 kPa(d) | 50 ~ 300 kPa(d) #5.5, #06: 100 ~ 300 kPa (d) | 200 ~ 300 kPa(d) | ||||
| 工作压差（SEF） | ≤ 300 kPa (d) | ||||||
| 最大工作压力 | 450 kPa (g) | ||||||
| 最大承受压力 | 1000 kPa (g) | ||||||
| 外漏 | ≤ 5 x 10-12Pa·m3/s (He) | ||||||
| 流量设定信号 | 0.1 ~ 5V DC(2% ~ F.S); 输入阻抗1MΩ或更高 | ||||||
| 流量输出信号 | 0 ~ 5 V DC (0% ~F.S.); 最小负载电阻2kΩ或更高 | ||||||
| 数字接口 | 具备地址功能n: RS-485 (传送速率 38,400 bps) F-Net 协议 | ||||||
| 内部接触表面 | 316L 不锈钢 (表面抛光) | ||||||
| 电源供应 |
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| +15V 5% 150mA | -15V5%150mA |
| ||
| 信号响应 | 模拟式:D-Sub9-pin (顶部) 数字式: 2LANjacks (顶部) | ||||||
| 标准接头 | *3 | 1/4 英寸VCR相当 可选: 1.125英寸 IGS, 1.5英寸 IGS | 1/4 英寸 VCR相当 可选: 1.125英寸 IGS | 1.5英寸 IGS | |||
| 安装方向 | 自由 | ||||||
HORIBA STEC SEC-Z512KX质量流量控制器
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