HORIBA UR-714M-B数字式自动压力调节器

HORIBA UR-714M-B数字式自动压力调节器

常见的压力控制器是UR-Z700系列，一款数字式自动压力调节器。根据不同用途，该系列还划分为控后端压力的UR-Z700M系列和控前端压力的UR-Z700M-B系列。该压力调节器常运用于MOCVD或CVD工艺中。在工艺过程中，当供气压力突然发生变化时，管道或罐体内的压力也随之发生变化，这不仅会影响整条管路流量的稳定，可能会对整台设备的安全造成威胁。对于这个问题HORIBA集团研发出UR-Z700系列，通过快速响应，高精度，稳定控制来调整管路压力。面对这种情况，只要管路装载UR-Z700系列就能够稳定的控制压力，气体质量流量控制器及反应源液的安全稳定运行。

特征

• • 可使用DeviceNet控制接口
  • 符合环保要求的RoHS处理

                 制造: HORIBA STEC

• 复合气体/复合流量功能-气体种类和全流量可以由客户更改。
• 可变PID功能提供全流量范围高速响应时间（在一秒以内）
• 紧凑型气路-不需要调压阀，压力传感器和过滤器
• 稳定气体流量控制，不受上流和下流压力的影响
• 集成进气端压力传感器
• 自身多种显示
• 精度保证1%设定流量
• 超洁净设计：金属密封圈，所有都是SUS-316L不锈钢，并且经过表面抛光（标准）
• 紧凑型尺寸-50SLM以内采用一样的尺寸
• 信号兼容-模拟/RS485数字模式，DeviceNet模式

1. 网络功能-通过数字信号控制​

 HORIBA UR-714M-B数字式自动压力调节器