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HORIBA S500热式气体质量流量计

产品时间:2020-05-09

简要描述:

HORIBA S500热式质量流量计,气体质量流量计,质量流量控制器
特点;高精度
快速响应
自动调零
任意角度安装
HORIBA S500热式气体质量流量计

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HORIBA S500热式气体质量流量计

 HORIBA S500热式质量流量计,气体质量流量计,质量流量控制器

特点

     

  • 高精度
  • 快速响应
  • 自动调零
  • 任意角度安装

产品规格

   

型号

S500 (规格Type AR111)

外部密封

氟橡胶

接触气体材料

SUS316L,氟橡胶,磁性不锈钢

调节阀类型

非通电时常闭

满量程流量(N2换算流量)

10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min   1,2,3,5,10,20,30 L/min

 

流量控制范围

2%~100%F.S. (0.1~5V DC)

流量测量范围

0~100%F.S. (0~5V DC)

响应时间(输出电压)

 1秒 (保证 1.5秒以内T98) 

工作环境温度

5~45℃ (精度保证 15~35℃)

流量精度

±1.0%F.S.

线性

±0.5%F.S.

重复性

±0.2%F.S.

工作压差

10mL/min~5L/min :50~300kPa(d)
10L/min~30L/min :100~300kPa(d)

最大工作(使用)压力

300kPa(G)

耐压

3MPa(G)

泄漏率

1×10-8Pa?1?1m3/s(He)以下

流量设定信号

0.1~5VDC(2%~100%F.S.)

流量输出信号

0~5VDC(0%~100%F.S.)

供电电源

+15V±5% 100mA以下
-15V±5% 150mA以下

管路接头

1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR

安装角度

任意

电气接头

D-Sub 15pin

输入输出阻抗

输入:1MΩ以上  输出:3mA以下

附加功能

Auto-zero、Auto-close

 
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  
  

**满量程流量50mL/min一下的响应时间为2S以内  HORIBA S500热式气体质量流量计

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