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HORIBA S48-32HMT气体质量流量控制器

产品时间:2020-07-24

简要描述:

HORIBA S48-32HMT气体质量流量控制器$n可以任意角度安装$n良好的线性——多段线性补偿$n快速的响应

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             HORIBA  S48-32HMT气体质量流量控制器

  • 可以任意角度安装
  • 良好的线性——多段线性补偿
  • 快速的响应
  • 电磁阀使用寿命≥100万次
  • 对零点漂移有效的控制
  • 良好的选择性
  • 全球化的零配件供应——传感器、分流器、精密元器件日本进口

产品参数;

编号

项目

S48 32/HMT

1

流量规格

(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min

2

调节阀类型

电磁调节阀

3

调节阀静止状态

常闭

4

安装角度

任意

5

流量控制范围

2%~100%

6

流量测量范围

0~100%

7

响应时间

2s(T98,设定值的±2% F.S.)

8

工作环境温度

5℃~50℃

9

精度保证温度

15℃~35℃

10

精度

±1.0%F.S.

11

线性精度

±0.5%F.S.

12

重复性

±0.2%F.S.

13

工作压差

~5L/min (50~300)kPa(D)
5L/min~10L/min (100~300)kPa(D) 
30L/min~50L/min (150~300)kPa(D)

14

耐压

3MPa

15

泄漏率

1×10-8 Pa•m3/s (He)

16

接触气体材料

316L,PTFE,Viton氟橡胶

17

管路接头

Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″

18

供电电源

±15VDC(±5%)  +15V<100mA,-15V<150mA

+24VDC(宽电压+11~+25V),
<250mA(+24Vdc供电时)

19

设定信号

(0~5)VDC 输入阻抗>1MΩ

4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V)

20

流量输出信号

(0~5)VDC 负载能力≤3mA

21

电气接头

D-SUB15,D-SUB9

22

重量(kg)

0.9


 

S48 32/HMT 安装尺寸图:HORIBA  S48-32HMT气体质量流量控制器

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