HORIBA SEC-N122MGM质量流量控制器

型号

SEC-N11-

SEC-N12-

SEC-N13-

SEC-N14-

全程流量范围

10SCCM-10SLM

11SLM-50SLM

51SLM-100SLM

101SLM-200SLM

可控流量范围

                       2~100%全流量

精度

            ±1%设定流量（设定流量＞30%全流量）

            ±0.3%全流量（设定流量≤30%全流量）

响应速度

                       ≤1秒

气路材质

SUS  316L,PTFE,磁性不锈钢

                     SUS  316L

密封圈材质

                                                  金属/橡胶

阀门类型

NC;常闭

NC；常开

NO; 常开

适用的差压范围

50~300Kpa(d);~3slm

100~300Kpa(d);~10slm

200~300KPa

100~300KPa

200~300KPa

抗压能力

                                                            100KPa（g）

产品外漏水平

                                             ＜5X10^-12Pa·m³/s（He）;金属密封

                                             ＜1X10-10Pa·m³/s（He）;橡胶密封

接口

1/4VCR  124mm

1/2VCR  132mm

数字式通讯协议

                                                           RS-485