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HORIBA STEC SEC-142JM质量流量控制器

产品时间:2020-07-15

简要描述:

HORIBA STEC SEC-142JM质量流量控制器
适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式(数字式/模拟式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),快速响应。

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HORIBA STEC SEC-142JM质量流量控制器

概要

适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式(数字式/模拟式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),快速响应。同时这款MFC支持多气体/多量程功能,有效减少客户成本。

*1包括SEC-N177R

特征

  • 大范围控制,从微小流量至大量程,10SCCM~1000SLM
  • 多种通讯方式及电源供给

 HORIBA STEC SEC-142JM质量流量控制器

n数字式/ 模拟式通信

lRS-485/DeviceNet/Profibus/模拟式电流/电压

l可与其它系列产品兼容

n复合气体 / 复合量程

l可以方便的在客户端更改对应气体和量程

n高精度控制: ±1.0% 设定流量.

l选用与SEC-Z500系列相同的sensorbypass.

n快速响应:   在可控流量范围内,响应时间1 sec

l内置PID参数,可以调整响应时间

n气阀种类

l 电磁阀 (~50SLM)

l 压电陶瓷阀 (100/200SLM)

n密封圈材质 :橡胶 或 金属

n气路表面 未经抛光处理

n接口     仅有VCR接口

nRoHS要求:   满足RoHS要求

 

气体质量流量控制器&气体流量计

HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围,客户可选择适合的类型。我们可提供三种阀门,客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。同样我们也可提供多种不同的通讯方式,包括模拟式、数字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取决于产品型号)。我们产品的流量范围可覆盖微量流量直至大流量。

*1 Devicenet是一种通讯方式的标志。
*2 PROFIBUS是一种国际化的通讯方式标志。

型号

SEC-N11-

SEC-N12-

SEC-N13-

SEC-N14-

全程流量范围

10SCCM-10SLM

11SLM-50SLM

51SLM-100SLM

101SLM-200SLM

可控流量范围

                       2~100%全流量

精度

            ±1%设定流量(设定流量>30%全流量)

            ±0.3%全流量(设定流量≤30%全流量)

响应速度

                       1

气路材质

SUS  316L,PTFE,磁性不锈钢

                     SUS  316L

密封圈材质

                                                  金属/橡胶

阀门类型

NC;常闭

NC;常开

NO; 常开

适用的差压范围

50~300Kpa(d);~3slm

100~300Kpa(d);~10slm

200~300KPa

100~300KPa

200~300KPa

抗压能力

                                                            100KPag

产品外漏水平

                                             5X10-12Pa·m3/sHe;金属密封

                                             1X10-10Pa·m3/sHe;橡胶密封

接口

1/4VCR  124mm

1/2VCR  132mm

数字式通讯协议

                                                           RS-485

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