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HORIBA SEC-N114MGM气体质量流量控制器

产品时间:2021-04-16

简要描述:

HORIBA SEC-N114MGM气体质量流量控制器
HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围

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HORIBA SEC-N114MGM气体质量流量控制器

概要

适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式(数字式/模拟式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),快速响应。同时这款MFC支持多气体/多量程功能,有效减少客户成本。

*1包括SEC-N177R

特征

  • 大范围控制,从微小流量至大量程,10SCCM~1000SLM
  • 多种通讯方式及电源供给

规格 

 

型号

SEC-N11-

SEC-N12-

SEC-N13-

SEC-N14-

全程流量范围

10SCCM-10SLM

11SLM-50SLM

51SLM-100SLM

101SLM-200SLM

可控流量范围

                       2~100%全流量

精度

            ±1%设定流量(设定流量>30%全流量)

            ±0.3%全流量(设定流量≤30%全流量)

响应速度

                       1

气路材质

SUS  316L,PTFE,磁性不锈钢

                     SUS  316L

密封圈材质

                                                  金属/橡胶

阀门类型

NC;常闭

NC;常开

NO; 常开

适用的差压范围

50~300Kpa(d);~3slm

100~300Kpa(d);~10slm

200~300KPa

100~300KPa

200~300KPa

抗压能力

                                                            100KPag

产品外漏水平

                                             5X10-12Pa·m3/sHe;金属密封

                                             1X10-10Pa·m3/sHe;橡胶密封

接口

1/4VCR  124mm

1/2VCR  132mm

数字式通讯协议

                                                           RS-485

应用市场
质量流量控制器广泛应用于半导体制造、FPD、光纤、光伏、真空镀膜、分析、化工、环境、食品、生物制药等行业的气流测量与控制。
 
质量流量控制器和质量流量计的区别
质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC),具备流量测量和流量控制两种功能。
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM),只有流量测量功能,不具备气流控制功能。
 
质量流量控制器和质量流量计的单位
SCCM、SLM为常见的MFC或MFM的使用单位。SCCM和SLM是指在标准条件下的体积单位。标准条件指温度为零摄氏度,一个标准大气压的条件。
SCCM–标准立方厘米每分钟
SLM–标准立方升每分钟
1000SCCM = 1SLM

质量流量控制器和质量流量计使用小贴士

  • 一般情况下当一颗MFC或MFM接上电源线后,确保环境温度稳定并使其接电预热15分钟以上,可有效确保产品精度及稳定性。
  • 在安装过程中,位于MFC或MFM背部大标签下方有指示气体流经的方向。
  •  

HORIBA SEC-N114MGM气体质量流量控制器 

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