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HORIBA S600≤50SLM 气体质量流量控制器

产品时间:2021-04-25

简要描述:

HORIBA S600≤50SLM 气体质量流量控制器
高精度
快速响应
自动调零
任意角度安装

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HORIBA S600≤50SLM 气体质量流量控制器

 

应用市场
质量流量控制器广泛应用于半导体制造、FPD、光纤、光伏、真空镀膜、分析、化工、环境、食品、生物制药等行业的气流测量与控制。
 
质量流量控制器和质量流量计的区别
质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC),具备流量测量和流量控制两种功能。
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM),只有流量测量功能,不具备气流控制功能。
 
质量流量控制器和质量流量计的单位
SCCM、SLM为常见的MFC或MFM的使用单位。SCCM和SLM是指在标准条件下的体积单位。标准条件指温度为零摄氏度,一个标准大气压的条件。
SCCM–标准立方厘米每分钟
SLM–标准立方升每分钟
1000SCCM = 1SLM

质量流量控制器和质量流量计使用小贴士

  • 一般情况下当一颗MFC或MFM接上电源线后,确保环境温度稳定并使其接电预热15分钟以上,可有效确保产品精度及稳定性。
  • 质量流量控制器中的Normal Close与Normal Open的区别

          Normal Close型的MFC: 断电情况下,阀保持常关状态的MFC。
          Normal Open型的MFC: 断电情况下,阀保持全开状态的MFC。

 

  • 在安装过程中,位于MFC或MFM背部大标签下方有指示气体流经的方向。

 

S600系列 橡胶密封/金属密封

S600系列 橡胶密封

产品型号

PROFIBUS(橡胶密封):BR226

PROFIBUS(金属密封):BM26

RS485(橡胶密封):BR222

RS485(金属密封):BM222

PROFIBUS(橡胶密封):CR226

RS485(橡胶密封):CR222

满量程流量

10/20/100/200/300/500

SCCM1/2/3/5SLM

10/20/30SLM

 

50 SLM

 

100SLM

150SLM

200SLM

阀类型

常闭

常闭

阀驱动

电磁调节阀

电磁调节阀

流量控制范围

2-100% F.S.

2-100% F.S.

响应时间

≤1. 5sec(Typical 1sec)

≤1. 5sec(Typical 1sec)

流量精度

±1.0%SP. Flow rate >30% F.S.

±0.3%F.. (Flow rate s30% F.S.

±1.0%SP. Flow rate >30% F.S.

±0.3%F.. (Flow rate s30% F.S.

线性

±0.5%F.S

±0.5%F.S

重复性

±0.2%F.S

±0.2%F.S

工作压差

50~300kPa(D)

100~300kPa(D)

200~300kPa(D)

50~300kPa(D)

50~300kPa(D)

50~300kPa(D)

大压力

450Kpa(G)

300Kpa(G)

耐压

1MPa(G)

1MPa(G)

通讯

PROFIBUS或RS485(STEC协议)

PROFIBUS或RS485(STEC协议)

电源电压

±24VDC

±24VDC

功耗

7.5VA

7.5VA

 

HORIBA S600≤50SLM 气体质量流量控制器

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