产品时间：2020-05-08
HORIBA S600≤50SLM气体质量流量控制器高精度快速响应自动调零任意角度安装
HORIBA S600≤50SLM气体质量流量控制器
应用市场
质量流量控制器广泛应用于半导体制造、FPD、光纤、光伏、真空镀膜、分析、化工、环境、食品、生物制药等行业的气流测量与控制。
质量流量控制器和质量流量计的区别
质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)，具备流量测量和流量控制两种功能。
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)，只有流量测量功能，不具备气流控制功能。
质量流量控制器和质量流量计的单位
SCCM、SLM为常见的MFC或MFM的使用单位。SCCM和SLM是指在标准条件下的体积单位。标准条件指温度为零摄氏度，一个标准大气压的条件。
SCCM–标准立方厘米每分钟
SLM–标准立方升每分钟
1000SCCM = 1SLM
质量流量控制器和质量流量计使用小贴士
Normal Close型的MFC： 断电情况下，阀保持常关状态的MFC。
Normal Open型的MFC： 断电情况下，阀保持全开状态的MFC。
| S600系列 橡胶密封/金属密封 | S600系列 橡胶密封 | ||||||||
产品型号 | PROFIBUS(橡胶密封):BR226 PROFIBUS(金属密封):BM26 RS485(橡胶密封):BR222 RS485(金属密封):BM222 | PROFIBUS(橡胶密封):CR226 RS485(橡胶密封):CR222 | ||||||||
满量程流量 | 10/20/100/200/300/500 SCCM1/2/3/5SLM | 10/20/30SLM
| 50 SLM
| 100SLM | 150SLM | 200SLM | ||||
阀类型 | 常闭 | 常闭 | ||||||||
阀驱动 | 电磁调节阀 | 电磁调节阀 | ||||||||
流量控制范围 | 2-100% F.S. | 2-100% F.S. | ||||||||
响应时间 | ≤1. 5sec(Typical 1sec) | ≤1. 5sec(Typical 1sec) | ||||||||
流量精度 | ±1．0%SP. Flow rate >30% F.S. ±0.3%F.. (Flow rate s30% F.S. | ±1．0%SP. Flow rate >30% F.S. ±0.3%F.. (Flow rate s30% F.S. | ||||||||
线性 | ±0.5%F.S | ±0.5%F.S | ||||||||
重复性 | ±0.2%F.S | ±0.2%F.S | ||||||||
工作压差 | 50~300kPa(D) | 100~300kPa(D) | 200~300kPa(D) | 50~300kPa(D) | 50~300kPa(D) | 50~300kPa(D) | ||||
最大压力 | 450Kpa（G） | 300Kpa（G） | ||||||||
耐压 | 1MPa（G） | 1MPa（G） | ||||||||
通讯 | PROFIBUS或RS485(STEC协议) | PROFIBUS或RS485(STEC协议) | ||||||||
电源电压 | ±24VDC | ±24VDC | ||||||||
功耗 | 7.5VA | 7.5VA | ||||||||
HORIBA S600≤50SLM气体质量流量控制器
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