产品分类
您现在的位置:首页 > 产品展示 > HORIBA > 质量流量控制器 > SEC-Z512MGXHORIBA STEC SEC-Z512MGX质量流量控制器

HORIBA STEC SEC-Z512MGX质量流量控制器

产品时间:2020-04-21

简要描述:

HORIBA STEC SEC-Z512MGX质量流量控制器
HORIBA MFC包含多项式近似曲线实现线性补偿。此功能实现量程上的高精度。为了真实的反应实际气体精度,HORIBA STEC监测了不同的工艺气体创建了针对不同气体的校正数据,建立标准气体管理系统,实现气体精度确认。

打印当前页

发邮件给我们:68144326@qq.com

分享到:

HORIBA STEC SEC-Z512MGX质量流量控制器

 

品  牌:HORIBA STEC
产品型号:SEC-Z500X系列 / SEF-Z500X系列
原产  国:国外 日本 
详细说明:SEC-Z500X系列数字式质量流量控制器、流量计

质量流量控制器是半导体生产设备上的关键部件。它的质量和性能是影响半导体制程优劣的主要因素。HORIBA STEC作为一家长期以来,为半导体持续不断的提供高质量、高性能的元器件供应商,已将市场份额扩展到50%以上。

特征

  • 高精度±1.0% S.P.
    HORIBA MFC包含多项式近似曲线实现线性补偿。此功能实现量程上的高精度。为了真实的反应实际气体精度,HORIBA STEC监测了不同的工艺气体创建了针对不同气体的校正数据,建立标准气体管理系统,实现气体精度确认。
  •  
  • 高速响应
    装载“变量PID系统”可实现两设定点之间1秒内快速响应。变量PID基于流量设定点而持续变化。即使满量程或气体更改,也能不会影响PID功能。
  •  
  • 多气体,多量程解决方案
    HORIBA的配置软件可简单更改MFC的规格。MFC的规格改变不需从设备端拆卸。此举减少MFC库存需求,减少时间和成本的浪费。

 

制造: HORIBA STEC

产品相关尺寸及其他;HORIBA STEC SEC-Z512MGX质量流量控制器

质量流量控制器型号

*1

SEC-Z512KX

SEC-Z512MGX

SEC-Z522MGXN

 

SEC-Z512X

SEC-Z522XN

 

质量流量计型号

*1

SEF-Z512KX

SEF-Z512MGX

SEF-Z522MGXN

 

SEF-Z512X

SEF-Z522XN

 

 

 

 

全量程流量

(氮气转换流量)

 

 

 

1/2 SCCM

MR/MG 编号#R1.5: 17.5 SCCM

#1.5: 55 SCCM

#2.5: 175 SCCM

#3.5: 550 SCCM

#4.5: 1.75 SLM

#5.5: 5.5 SLM

#R01: 10 SCCM

#01: 30 SCCM

#02: 100 SCCM

#03: 300 SCCM

#04: 1 SLM

#05: 3 SLM

#06: 10 SLM

 

 

MR/MG 编号#6.5: 22 SLM

#07: 30 SLM

#08: 50 SLM

阀类型

O: 全开 C: 全闭

阀全闭时流量

≤ 2%F.S

流量控制范围

2~100% F.S

流量监测范围(SEF)

0~100% F.S

精度

*2

±1.0% F.S

±1.0% S.P. (设定流量> 25% F.S.) ±0.25% F.S. (设定流量≤ 25% F.S.)

工作温度

5 ~ 50°C (推荐温度范围: 15 ~ 45°C)

响应时间

≤ 1 秒: 流量控制范围

线性

≤±0.5%F.S

重复性

≤±0.2%F.S

工作压差

50 ~ 300 kPa (d)

50 ~ 300 kPa (d)

#5.5, #06: 100 ~ 300 kPa (d)

200 ~ 300 kPa (d)

工作压差(SEF)

≤ 300 kPa (d)

最大工作压力

450 kPa (g)

最大承受压力

1000 kPa (g)

外漏

≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)

流量设定信号

0.1 ~ 5 V DC (2% ~ F.S); 输入阻抗1MΩ或更高

流量输出信号

0 ~ 5 V DC (0% ~ F.S.); 最小负载电阻2kΩ或更高

数字接口

具备地址功能n: RS-485 (传送速率 38,400 bps) F-Net 协议

内部接触表面

316L 不锈钢 (表面抛光)

电源供应

 

 

+15V 5% 150mA

-15V 5% 150 mA

 

信号响应

模拟式: D-Sub 9-pin (顶部) 数字式: 2 LAN jacks (顶部)

标准接头

*3

1/4 英寸 VCR 相当

可选: 1.125英寸 IGS, 1.5英寸 IGS

1/4 英寸 VCR相当

可选: 1.125英寸 IGS

 

安装方向

自由

留言框

  • 产品:

  • 留言内容:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 省份:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
客户至上 用心服务
在线客服