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HORIBA SEC-E40V(MK3)质量流量控制器

产品时间:2020-05-09

简要描述:

HORIBA SEC-E40V(MK3)质量流量控制器
SEC-E系列
型号: SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.
可选高精度数字式:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J

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HORIBA SEC-E40V(MK3)质量流量控制器

 

 

HORIBA

Semiconductor

 

SEC-E系列

                型号: SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.

                可选高精度数字式:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J,

 

产品特点

  

       *高速响应                                                                    *高精度                                                       *高速响应  

 

           概要

 

          · 适用于广泛范围的流量控制:在同一系列中,适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制

 

          · 适用于广泛的用途:在普通产业市场中,拥有众多的销售业绩。

 

          · 低成本:产品阵容中有力求具有成本优势的型号: SEC-E40MK3、SEC-E50MK3

 

 

 外形尺寸


 

技术规格

 

型号

SEC- (质量流量控制器)

SEC-E40、SEC-E40MK3

SEC-E50、SEC-E50MK3

SEF- (质量流量计)

SEF-E40

E50

适用气体种类*1

非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)

气体接触部材质

SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢

阀门型号

非通电时 关闭

标准流量量程 (N2相应F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范围
(适于SEC系列)

2?100% F.S.

流量测量范围
(适于SEF系列)

0?100% F.S.

响应速度

1秒以内(T98)

流量精度

±1% F.S.

直线性

±0.5% F.S.

反复性

±0.2% F.S.

工作差压值值
(适于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用压力
(适于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐 压

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用环境温度

5?50℃(精度的确保:15?35℃)

流量设定信号

0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量输出信号

0?5VDC(最小负荷电阻2kΩ)

驱动电源

+15VDC ±5% 50mA

-15VDC ±5% 150mA 3VA

+15VDC ±5% 50mA

−15VDC ±5% 200mA 3.9VA

标准接头*2

1/4SWL 类型

 

 上海首荣工业设备有限公司   上海首荣工业设备有限公司  上海首荣工业设备有限公司

 

型号

SEC- (质量流量控制器)

SEC-E60

SEC-E70

SEC-E80

SEF- (质量流量计)

E60

E70

E80

适用气体种类*1

N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10

N2、O2、Air、H2

气体接触部材质

SUS316.氟化橡胶、磁性不锈钢

阀门型号

非通电时 关闭

标准流量量程 (N2相应F.S.)

50/100 SLM

200 SLM

300/500 SLM

流量控制范围 (适于SEC系列)

5?100% F.S.

流量测量范围 (适于SEF系列)

0?100% F.S.

响应速度

1秒以内(T98)

2秒以内(T98)

流量精度

±1% F.S.

±2% F.S.

直线性

±0.5% F.S.

±1% F.S.

反复性

±0.5% F.S.

±1% F.S.

工作差压值值(适于SEC系列)

100?300kPa(d)

200?350kPa(d)

使用压力 (适于SEF系列)

350kPa(G)以下

耐 压

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-7Pa?m3/s(He)以下

450kPa(G)加压10分钟减压1%以内

使用环境温度

5?45℃(精度的确保:15?35℃)

流量设定信号

0.25?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/5?100% F.S.

流量输出信号

0?5VDC(最小负荷电阻2kΩ)

驱动电源

+15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

标准接头*2

3/8SWL 类型

1/2SWL 类型

 

*1:关于记载以外的气体种类,请另行咨询协商。
*2也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。
※入口压力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3:最大值300kPa(G);SEC-70/80:最大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示气体的流量单位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的记号。

HORIBA SEC-E40V(MK3)质量流量控制器

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