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HORIBA S48/32 气体质量流量控制器

产品时间:2021-02-26

简要描述:

气体质量流量控制器&气体流量计
HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围,客户可选择适合的类型。我们可提供三种阀门,客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。HORIBA S48/32 气体质量流量控制器

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HORIBA S48/32 气体质量流量控制器

 

S48/32质量流量控制器产品介绍

 气体质量流量控制器(流量计)(Mass gas flow controller(meter)缩写为 MFC(MFM))是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。

S48/32 质量流量控制器(流量计)

   特点: ☆工作压力范围宽,气体流量不因温度、压力的变化而变化。

              ☆主体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用 VITON®、聚四氟乙烯等。适 用于各种耐腐蚀性气体。线路板、阀体、弹等为重要零部件,均执行 严格的入厂标准。 ☆具有精度高、重复性好、软启动、工作稳定可靠。

              ☆电气操作控制显示,使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。 ☆配合 MT-51 系列流量积算仪,可对气体的瞬时流量和累积流量进行计 量。

 S48/32 质量流量控制器(流量计)主要应用领域:

    半导体制造行业的气体流量控制;   

    分析仪器设备的气体计量与控制;

    各种形式的真空镀膜设备;

    环境检测与分析设备;

    化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制;

    特种材料表面处理装置与燃烧控制;

    混气配气系统和泄露探测系统等。

 

S48/32质量流量控制器产品规格

   S48 系列质量流量控制器(流量计) 质量流量计,用于对气体的质量流量测量计量; 质量流量控制器,不但具有质量流量计的测量计量功能,还具有自动控制气 体的质量流量功能。

  主要技术指标 质量流量控制器(流量计)流量出厂通常用氮气(N2)标定。 质量流量单位为:标准状态 mL/min(毫升/分钟) (SCCM 行业标准); 标准状态 L/min (升/分钟) (SLM 行业标准)。 标准状态为:温度----273.15K(0℃) 气压----101325Pa(1atm) F.S.(Full Scale):表示满量程值

 

HORIBA S48/32 气体质量流量控制器

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