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HORIBA S600气体质量流量控制器

产品时间:2021-04-16

简要描述:

HORIBA S600气体质量流量控制器
气体质量流量控制器&气体流量计
HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围,客户可选择适合的类型。我们可提供三种阀门,客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。

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HORIBA S600气体质量流量控制器

 

 

 1、概述
本产品为热式质量流量控制器,利用气流流过毛细管,改变毛细管温度分布, 造成上下游温差方法,而测得气体质量流量。不同于容积式流量计,其流量精度 不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反映气流瞬时流量,所 以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
1.1 使用范围
质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行 业的气流测量与控制。
1.2 质量流量控制器和质量流量计 质量流量控制器(MassFlowController 缩写为MFC),具备流量测量和流量控 制两种功能。 质量流量计(MassFlowMeter 缩写为MFM),只有流量测量功能,不具备气流 控制功能。

  S600 质量流量控制器的特点

 ☆ S600型质量流量控制器是由日本HORIBASTEC针对中国国内需求而研制 的一种数字式质量流量控制器产品,采用32位CPU做数字控制。具有流量稳定性 好,精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。

 ☆ 两种通信协议可选,F-NET 协议和ProfibusDP-V0 从站协议。 RS485串口, F-NET 协议。易于多台控制器组网,简单易用。配合上位 机, 可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。 PROFIBUSDP-V0 从站协议。具有稳定的标准作保证,可同时实现 集中控制、分散控制和混合控制。配合上位机,可进行各种复杂的计量、控制操 作及组态。

 ☆气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小,工作压力范围宽。

 ☆阀体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用金属、氟橡胶等。耐腐蚀性强。 线路板、传感器、(≤50L)密封圈,(大于50L)、方垫片、喷嘴等重要零部 件,均执行严格的入厂检验标准。

 ☆可任意角度安装。 ☆兼容数字和模拟控制及显示,使用方便。易于与电气或自动控制系统配合。

 ☆由日本HORIBASTEC团队设计开发,关键零部件进口

 

HORIBA S600气体质量流量控制器

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