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HORIBA SEC-N112JM质量流量控制器

产品时间:2021-04-16

简要描述:

HORIBA SEC-N112JM质量流量控制器
HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围,客户可选择适合的类型。

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HORIBA SEC-N112JM质量流量控制器

 

概要

适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式(数字式/模拟式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),快速响应。同时这款MFC支持多气体/多量程功能,有效减少客户成本。

*1包括SEC-N177R

 SEC-N112JM产品特性

1.数字式/ 模拟式通信

     RS-485/DeviceNet/Profibus/模拟式(电流/电压)

2.可与其它系列产品兼容

     复合气体 / 复合量程

3.可以方便的在客户端更改对应气体和量程

    高精度控制: ±1.0% 设定流量.
    选用与SEC-Z500系列相同的sensor和bypass.

4.快速响应:   在可控流量范围内,响应时间≦1 sec

5.内置PID参数,可以调整响应时间

6.气阀种类
 电磁阀 (~50SLM)
 压电陶瓷阀 (100/200SLM)

7.密封圈材质 :橡胶 或 金属

8.气路表面 :  未经抛光处理

9.接口 :      仅有VCR接口

RoHS要求:   满足RoHS要求

气体质量流量控制器&气体流量计

HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围,客户可选择适合的类型。我们可提供三种阀门,客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。同样我们也可提供多种不同的通讯方式,包括模拟式、数字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取决于产品型号)。我们产品的流量范围可覆盖微量流量直至超大流量。

*1 Devicenet是一种通讯方式的标志。
*2 PROFIBUS是一种化的通讯方式标志。

 

HORIBA SEC-N112JM质量流量控制器

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