HORIBA SEC-N172R 质量流量控制器

产品时间：2021-04-16

简要描述：

HORIBA SEC-N172R 质量流量控制器
HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围，客户可选择适合的类型。

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详细介绍

HORIBA SEC-N172R 质量流量控制器

概要

适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式（数字式/模拟式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速响应。同时这款MFC支持多气体/多量程功能，有效减少客户成本。

*1包括SEC-N177R

可更改全量程范围： 25% 到 100%
     例如：   一颗MFC SEC-N100 Bin-# 4
　N2 1000SCCM [ 可控范围: 20 ~ 1000SCCM ]
  我们可将其全量程更改为原标定值的 25％
　N2 250SCCM   [ 可控范围: 5 ~ 250SCCM ]
即使在全量程更改后， N100 可控流量范围仍然为 2%-100%

HORIBA SEC-N172R 质量流量控制器

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可更改全量程范围： 25% 到 100% 例如： 一颗MFC SEC-N100 Bin-# 4 N2 1000SCCM [ 可控范围: 20 ~ 1000SCCM ] 我们可将其全量程更改为原标定值的 25％ N2 250SCCM [ 可控范围: 5 ~ 250SCCM ]即使在全量程更改后， N100 可控流量范围仍然为 2%-100%

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例如：一颗MFC SEC-N100 Bin-# 4
　N2 1000SCCM [ 可控范围: 20 ~ 1000SCCM ]
我们可将其全量程更改为原标定值的 25％
　N2 250SCCM [ 可控范围: 5 ~ 250SCCM ]
即使在全量程更改后， N100 可控流量范围仍然为 2%-100%