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HORIBA SEC-N172R 质量流量控制器

产品时间:2021-04-16

简要描述:

HORIBA SEC-N172R 质量流量控制器
HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围,客户可选择适合的类型。

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 HORIBA SEC-N172R 质量流量控制器

 

 

概要

适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式(数字式/模拟式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),快速响应。同时这款MFC支持多气体/多量程功能,有效减少客户成本。

*1包括SEC-N177R

 

 可更改全量程范围: 25% 到 100%
     例如:   一颗MFC SEC-N100 Bin-# 4 
  N2 1000SCCM  [ 可控范围: 20 ~ 1000SCCM ]
  我们可将其全量程更改为原标定值的 25%
  N2 250SCCM   [ 可控范围: 5 ~ 250SCCM ]
即使在全量程更改后, N100 可控流量范围仍然为 2%-100%

HORIBA SEC-N172R 质量流量控制器

 

 

 

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